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東北大学 流体科学研究所 寒川 誠二教授の特別講演が伊都キャンパスにて行われます[ 9/13 ]

2019/08/26

システム情報科学研究院・プラズマナノ界面工学センター・五感応用デバイス研究開発センターの共催で,特別講演会を行います.講師の寒川誠二教授は,東北大学流体科学研究所 未到エネルギー研究センターのセンター長で,この40年のプラズマプロセスの進化と共に歩まれ,現在は半導体プラズマプロセスの超低損傷化に向けた研究をされています.

寒川先生特別講演